松夏谈选择真空波纹补偿器的注意事项
松夏谈选择真空波纹补偿器的注意事项
1、真空波纹补偿器工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的波纹补偿器或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空波纹补偿器时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的波纹补偿器。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在波纹补偿器的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、真空波纹补偿器在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空波纹补偿器。由于真空波纹补偿器有选择性抽气,因而,有时选用一种波纹补偿器不能满足抽气要求,需要几种波纹补偿器组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华波纹补偿器对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子波纹补偿器,对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空波纹补偿器不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空波纹补偿器出口压强低于大气压,需要前级波纹补偿器,故都需要把波纹补偿器组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求波纹补偿器时,应该选各种波纹补偿器波纹补偿器,如:水环波纹补偿器、分子筛吸附波纹补偿器、溅射离子波纹补偿器、低温波纹补偿器等。如果要求不严格,可以选择有油波纹补偿器,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、正确地选择真空波纹补偿器的工作点。每种波纹补偿器都有一定的工作压强范围,保持其稳定的工作压强。波纹补偿器的工作点应该选在标准范围之内较为适宜,而不能不适宜的条件下长期工作。
7、真空波纹补偿器排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选波纹补偿器真空波纹补偿器,或者把油蒸气排到室外。
8、真空波纹补偿器的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择波纹补偿器的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
9、另外,还需考虑真空波纹补偿器的价格、运转及维修费用等。需根据自身需要和能力进行选择适合自己的真空波纹补偿器。