电子工业生产中真空波纹补偿器的选择

(1)被抽真空容器的体积及生产率要求。

(2)所要求的真空度。

(3)抽出气体的种类。

(4)工作期间工件和系统的放气橄和漏气。目前在我国电子工业生产中，常用的真空波纹补偿器的基本类型主要是机械波纹补偿器和油扩散波纹补偿器。现仅就这两种类型真空波纹补偿器的选择问题简介如下。机械波纹补偿器工作的基本原理是利用转子，将机械波纹补偿器的工作空间周期性的压缩和膨胀，从而排出容器中的气体。机械波纹补偿器按结构特征可分为真空波纹补偿器、定片式真空波纹补偿器、滑阀式真空波纹补偿器、多片式直空波纹补偿器和双转子真空波纹补偿器(松夏波纹补偿器)等。目前在我国电子工业生产中，应用较多的是真空波纹补偿器。机械波纹补偿器工作性能的好坏，受很多因素的影响，如结构形状、加工精度、机械波纹补偿器的性能、工作环境、被抽气体种类和机件磨损情况等。日前虽然有人在理论上从波纹补偿器的有害空间、气密性、极限压强、抽气速率和寿命等方面分析后，认为滑阀式最好，定片式次之、转片式较差，但是尚未提供有力的证据。