金属软管在各种温度及吸入压力下的K值可参照表
金属软管在各种温度及吸入压力下的K值可参照表选用金属软管时,需要注意下列事项:
1、金属软管的工作压强应该满足设备的极限及工作压强要求。如:某干燥工艺要求10mmHg的工作度,选用的金属软管的极限度至少要2mmHg,好能达到1mmHg。通常选择金属软管的极限度要高于设备工作度半个到一个数量级。
2、正确地选择金属软管的工作点。每种金属软管都有一定的工作压强范围。
3、金属软管在其工作压强下,应能排走设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合金属软管。由于金属软管有选择性抽气,因而,有时选用一种金属软管不能满足抽气要求,需要几种金属软管组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华金属软管对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子金属软管,对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使装置得到较好的度。另外,有的金属软管不能在大气压下工作,需要预;有的金属软管出口压强低于大气压,需要前级金属软管,故都需要把金属软管组合起来使用。
5、设备对染的要求。若设备严格要求无时,应该选各种无金属软管,如:金属软管、分子筛吸附金属软管、溅射离子金属软管、低温金属软管等。如果要求不严格,可以选择有金属软管,加上一些防染措施,如加冷阱、障板、挡阱等,也能达到洁要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择金属软管时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的金属软管。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在金属软管的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、金属软管排出来的蒸气对境的影响如何。如果境不允许有染,可以选无金属软管,或者把蒸气排到室外。
8、金属软管工作时产生的振动对工艺过程及境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的金属软管或者采取防振动措施。
9、金属软管的价格、运转及维修费用。